Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7660Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Стецик, В. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-05-02T11:16:17Z | - |
| dc.date.available | 2012-05-02T11:16:17Z | - |
| dc.date.issued | 2012-05-02 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7660 | - |
| dc.description.abstract | Процесс развития фотолитографии представляет собой последователь- ный переход к обеспечению производства ИС с топологическими элементами все меньших размеров. На первом этапе (1960-е годы) минимальные элементы топологии имели размеры более 10 мкм. Для формирования структур с такими размерами было создано первое поколение соответствующего оптико- механического оборудования: редукционные размеры, фотоповторители, кон- тактные установки совмещения, разрешение и точность которых составляла 3…5 мкм. Второй этап (1970-е годы) характеризуется минимальным размером элементов до 3 мкм, ростом степени интеграции, появлением больших ИС (БИС). | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.title | Основы оптических технологий в микроэлектронике: учебные материалы / В. М. Стецик; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологий | ru |
| dc.type | learning object | - |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра квантовой радиофизики и оптоэлектроники (пособия) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Основы опт технол в микроэлектронике.pdf | 2,74 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.