Формирование пленок оксинитрида железа плазмохимиическим методом

Abstract

В ходе исследования возможности синтеза пленок нитрида углерода на экспериментальной установке с емкостным типом ВЧ разряда [1] при пониженном давлении порядка сотен Паскаль в рабочей газовой смеси паров метанола и азота были получены весьма прочные пленки, опреде- ление компонентного состава которых методом резерфордовского об- ратного рассеяния дало неожиданный результат ñ это пленки оксинитри- да железа. Осуществление процесса нанесения покрытия в условиях форвакуума при относительно малом уровне мощности разряда (поряд- ка 200 Вт) и при низких расходах дешевых газов до 0,03 см3 /с обуслав- ливает технико-экономические преимущества перед известным магне- тронным методом нанесения таких пленочных покрытий.