Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Факультет радиофизики и компьютерных технологий
  3. УЧЕБНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ФАКУЛЬТЕТА РАДИОФИЗИКИ И КОМПЬЮТЕРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
  4. Учебно-методические комплексы факультета радиофизики и компьютерных технологий
  5. Кафедра физической электроники и нанотехнологий (ЭУМК)
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7546
Заглавие документа: Микроэлектроника : электронный учебно-методический комплекс / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологий
Авторы: Никифоренко, Н. Н.
Лабуда, А. А.
Тема: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Дата публикации: 27-апр-2012
Аннотация: ЭУМК включает: конспект лекций, методические указания к лабораторным работам, учебную программу, учебные пособия, вопросы к экзамену
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/7546
Располагается в коллекциях:Кафедра физической электроники и нанотехнологий (ЭУМК)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
1_ВЧ_разряд.docЛекция №1. Высокочастотный газовый разряд низкого давления766 kBMicrosoft WordОткрыть
2_Элем_проц.docЛекция №2. Элементарные процессы в газоразрядной плазме85,5 kBMicrosoft WordОткрыть
3_Фотолитография.docЛекция №3. Фотолитография4,2 MBMicrosoft WordОткрыть
4_Физика_пленок.docЛекция №4. Физика тонких пленок и малых частиц260,5 kBMicrosoft WordОткрыть
5_Нанесение.docЛекция №5. Ионно-плазменные процессы нанесения пленок264,5 kBMicrosoft WordОткрыть
6_Травление.docЛекция №6. Ионно-плазменные процессы травления поверхностных слоев148,5 kBMicrosoft WordОткрыть
Osnova_L.docФизическая микроэлектроника: Учеб. пособие / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко3,28 MBMicrosoft WordОткрыть
1_спектр_анал_2009.docИзучение эмиссионного спектра плазмы вч-разряда низкого давления : лабораторная работа206,5 kBMicrosoft WordОткрыть
2_ФР.docИзучение плазмохимического процесса удаления фоторезиста в вч-разряде низкого давления : лабораторная работа120,5 kBMicrosoft WordОткрыть
3_оксид.docИзучение процесса плазмохимического травления (пхт) диэлектрических кремнийсодержащих тонких пленок с использованием эмиссионной спектроскопии : лабораторная работа171 kBMicrosoft WordОткрыть
5_работа_спектрометра.docИзучение спектрометра с пзс-датчиком : лабораторная работа51,5 kBMicrosoft WordОткрыть
Вопросы_ экз_2011.docВопросы к экзамену33,5 kBMicrosoft WordОткрыть
Микроэлектроника_2010_раб.прог.docУчебная программа131 kBMicrosoft WordОткрыть
УМК.docМикроэлектроника: Учебно-методический комплекс / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко496,5 kBMicrosoft WordОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.