Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7546
Title: Микроэлектроника : электронный учебно-методический комплекс / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологий
Authors: Никифоренко, Н. Н.
Лабуда, А. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 27-Apr-2012
Abstract: ЭУМК включает: конспект лекций, методические указания к лабораторным работам, учебную программу, учебные пособия, вопросы к экзамену
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/7546
Appears in Collections:Кафедра физической электроники и нанотехнологий (ЭУМК)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1_ВЧ_разряд.docЛекция №1. Высокочастотный газовый разряд низкого давления766 kBMicrosoft WordView/Open
2_Элем_проц.docЛекция №2. Элементарные процессы в газоразрядной плазме85,5 kBMicrosoft WordView/Open
3_Фотолитография.docЛекция №3. Фотолитография4,2 MBMicrosoft WordView/Open
4_Физика_пленок.docЛекция №4. Физика тонких пленок и малых частиц260,5 kBMicrosoft WordView/Open
5_Нанесение.docЛекция №5. Ионно-плазменные процессы нанесения пленок264,5 kBMicrosoft WordView/Open
6_Травление.docЛекция №6. Ионно-плазменные процессы травления поверхностных слоев148,5 kBMicrosoft WordView/Open
Osnova_L.docФизическая микроэлектроника: Учеб. пособие / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко3,28 MBMicrosoft WordView/Open
1_спектр_анал_2009.docИзучение эмиссионного спектра плазмы вч-разряда низкого давления : лабораторная работа206,5 kBMicrosoft WordView/Open
2_ФР.docИзучение плазмохимического процесса удаления фоторезиста в вч-разряде низкого давления : лабораторная работа120,5 kBMicrosoft WordView/Open
3_оксид.docИзучение процесса плазмохимического травления (пхт) диэлектрических кремнийсодержащих тонких пленок с использованием эмиссионной спектроскопии : лабораторная работа171 kBMicrosoft WordView/Open
5_работа_спектрометра.docИзучение спектрометра с пзс-датчиком : лабораторная работа51,5 kBMicrosoft WordView/Open
Вопросы_ экз_2011.docВопросы к экзамену33,5 kBMicrosoft WordView/Open
Микроэлектроника_2010_раб.прог.docУчебная программа131 kBMicrosoft WordView/Open
УМК.docМикроэлектроника: Учебно-методический комплекс / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко496,5 kBMicrosoft WordView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.