Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7546
Заглавие документа: | Микроэлектроника : электронный учебно-методический комплекс / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко; БГУ, Факультет радиофизики и компьютерных технологий |
Авторы: | Никифоренко, Н. Н. Лабуда, А. А. |
Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Дата публикации: | 27-апр-2012 |
Аннотация: | ЭУМК включает: конспект лекций, методические указания к лабораторным работам, учебную программу, учебные пособия, вопросы к экзамену |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7546 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физической электроники и нанотехнологий (ЭУМК) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
1_ВЧ_разряд.doc | Лекция №1. Высокочастотный газовый разряд низкого давления | 766 kB | Microsoft Word | Открыть |
2_Элем_проц.doc | Лекция №2. Элементарные процессы в газоразрядной плазме | 85,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
3_Фотолитография.doc | Лекция №3. Фотолитография | 4,2 MB | Microsoft Word | Открыть |
4_Физика_пленок.doc | Лекция №4. Физика тонких пленок и малых частиц | 260,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
5_Нанесение.doc | Лекция №5. Ионно-плазменные процессы нанесения пленок | 264,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
6_Травление.doc | Лекция №6. Ионно-плазменные процессы травления поверхностных слоев | 148,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
Osnova_L.doc | Физическая микроэлектроника: Учеб. пособие / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко | 3,28 MB | Microsoft Word | Открыть |
1_спектр_анал_2009.doc | Изучение эмиссионного спектра плазмы вч-разряда низкого давления : лабораторная работа | 206,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
2_ФР.doc | Изучение плазмохимического процесса удаления фоторезиста в вч-разряде низкого давления : лабораторная работа | 120,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
3_оксид.doc | Изучение процесса плазмохимического травления (пхт) диэлектрических кремнийсодержащих тонких пленок с использованием эмиссионной спектроскопии : лабораторная работа | 171 kB | Microsoft Word | Открыть |
5_работа_спектрометра.doc | Изучение спектрометра с пзс-датчиком : лабораторная работа | 51,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
Вопросы_ экз_2011.doc | Вопросы к экзамену | 33,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
Микроэлектроника_2010_раб.прог.doc | Учебная программа | 131 kB | Microsoft Word | Открыть |
УМК.doc | Микроэлектроника: Учебно-методический комплекс / А. А. Лабуда, Н. Н. Никифоренко | 496,5 kB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.