Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7167Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петров, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-04-19T06:43:45Z | - |
| dc.date.available | 2012-04-19T06:43:45Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.other | 20062731 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7167 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Разработать физико-технологические основы формирования легированных областей для субмикронных полупроводниковых приборов с использованием высокоэнергетической ионной имплантации и дополнительного введения нетрадиционных примесей в процессе эпитаксиального наращивания : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. В. С. Просолович | ru |
| dc.type | report | ru |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты 2010 | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Отчет-Просолович 20062731.doc | 4,01 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.