Поиск
Добавить фильтры:
Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.
Результаты 1-1 из 1.
- назад
- 1
- далее
Найденные документы:
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2018 | Осаждение пленок оксида кремния с использованием плазменной активации при производстве интегральных схем | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Пшеничный, E. Н. |
Просмотр
по виду документа