Рентгеновская диагностика подложек синтетического монокристаллического алмаза для эпитаксиальных технологий

Шаронов, Г. В.; Васильев, И. А.; Петров, С. А.; Пушкарев, А. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/5630

Title:	Рентгеновская диагностика подложек синтетического монокристаллического алмаза для эпитаксиальных технологий
Authors:	Шаронов, Г. В. Васильев, И. А. Петров, С. А. Пушкарев, А. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	Sep-2009
Publisher:	БГУ
Citation:	Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. - 2009. - N 3. - С. 21-24.
Abstract:	Off-orientation of plain (001) and surface of diamond single crystal was analyzed. On basis of diamond single crystal films, which were raised on the synthetic diamond substrates, were worked out ultraviolet radiation detectors. = Методом дифракции рентгеновских лучей определена разориентация кристаллографической плоскости (001) с поверх-ностью монокристаллов синтетического алмаза, используемых в качестве подложек для технологии гомоэпитаксиального роста монокристаллических алмазных слоев электронного качества. Показана возможность создания УФ-детекторов на алмазных монокристаллических пленках, выращенных на подложках синтетического монокристаллического алмаза.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/5630
ISSN:	0321-0367
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2009, №3 (сентябрь)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
05 ШАРОНОВ.pdf		581,56 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar