Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/52336| Заглавие документа: | Технологии элементов микро- и наносистем № УД-677/р |
| Авторы: | Бурмаков, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Кибернетика |
| Дата публикации: | 19-ноя-2013 |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/52336 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физической электроники и нанотехнологий (архив) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Технологии элементов микро- и наносистем.pdf | 578,72 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.