Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49063| Title: | Формирование микроструктур в системе SiO2/Si при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности |
| Authors: | Ковивчак, В. С. Панова, Т. В. Кривозубов, О. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Исследовано образование поверхностных микроструктур на поверхности монокристаллического кремния со слоем собственного оксида различной толщины при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности. Опи- саны морфологические особенности возникающих структур в зависимости от толщины слоя оксида и плотности тока ионного пучка. Рассмотрены возможные механизмы их формирования. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49063 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ковивчак_3.pdf | 2,36 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.