Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49063Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ковивчак, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Панова, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Кривозубов, О. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-15T12:13:33Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-15T12:13:33Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49063 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано образование поверхностных микроструктур на поверхности монокристаллического кремния со слоем собственного оксида различной толщины при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности. Опи- саны морфологические особенности возникающих структур в зависимости от толщины слоя оксида и плотности тока ионного пучка. Рассмотрены возможные механизмы их формирования. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Формирование микроструктур в системе SiO2/Si при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ковивчак_3.pdf | 2,36 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.