Оптические характеристики пленок полиимида, имплантированных ионами никеля

Abstract

Изучены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения пленок полиимида в диапазоне 200 – 1100 нм, имплантированных ионами никеля. Пленки полиимида толщиной 40 мкм были имплантированы ионами никеля Ni+ с энергией 40 кэВ в интервале доз 2,51016 - 1,51017 cм-2 при плотности тока в ионном пучке 4, 8 и 12 мкА/см2. Показано, что при имплантации ионов никеля в пленки полиимида происходит уменьшение коэффициента пропускания вследствие поглощения и рассеяния света в карбонизированном слое и на кластерах никеля. Обнаружено усиление интенсивности полос отражения при λ ≈ 254 и λ ≈ 311 нм на неимплантированной стороне, а также появление полосы при λ ≈ 750 нм. Показатель преломления модифицированного слоя изменялся в пределах 1,25-2,32 в зависимости от дозы имплантации.