Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48822
Title: Модификация мдп-структур сильнополевой инжекцией электронов и плазменной обработкой
Authors: Андреев, В. В.
Бондаренко, Г. Г.
Масловский, В. М.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Проведено исследование режимов инжекционно-термической и плазменной обработки МДП-структур. Показано, что от- рицательный заряд, накапливающийся в плёнке ФСС в структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС в процессе сильнополевой туннельной инжекции электронов, может использоваться для модификации электрофизических характеристик МДП-приборов с такой структурой. Для повышения надежности и выявления образцов, содержащих зарядо- вые дефекты, предложено проводить инжекционно-термическую и/или плазменную обработку МДП-структур. Установлено, что проведение инжекционно-термической и плазменной обработки позволяет повысить инжекционную и радиационную стойкость диэлектрических пленок МДП-приборов за счет их модификации.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48822
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Андреев.pdf240,92 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.