Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48822| Title: | Модификация мдп-структур сильнополевой инжекцией электронов и плазменной обработкой |
| Authors: | Андреев, В. В. Бондаренко, Г. Г. Масловский, В. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Проведено исследование режимов инжекционно-термической и плазменной обработки МДП-структур. Показано, что от- рицательный заряд, накапливающийся в плёнке ФСС в структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС в процессе сильнополевой туннельной инжекции электронов, может использоваться для модификации электрофизических характеристик МДП-приборов с такой структурой. Для повышения надежности и выявления образцов, содержащих зарядо- вые дефекты, предложено проводить инжекционно-термическую и/или плазменную обработку МДП-структур. Установлено, что проведение инжекционно-термической и плазменной обработки позволяет повысить инжекционную и радиационную стойкость диэлектрических пленок МДП-приборов за счет их модификации. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48822 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Андреев.pdf | 240,92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.