Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48741| Заглавие документа: | Моделирование процессов переноса водорода в кри- сталлическом кремнии при его обработке в водород- содержащей плазме |
| Авторы: | Величко, О. И. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | Разработана модель диффузии водорода, учитывающая дрейф подвижной компоненты в поле внутренних упругих напряжений. Проведено моделирование имеющихся экспериментальных данных и определены характерные значения коэффициентов переноса атомов водорода в кристаллическом кремнии, содержащем скрытый слой Si1−xGex, при его обработке в водородсодержащей плазме. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48741 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Величко .pdf | 228,69 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.