Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48741
Title: Моделирование процессов переноса водорода в кри- сталлическом кремнии при его обработке в водород- содержащей плазме
Authors: Величко, О. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Разработана модель диффузии водорода, учитывающая дрейф подвижной компоненты в поле внутренних упругих напряжений. Проведено моделирование имеющихся экспериментальных данных и определены характерные значения коэффициентов переноса атомов водорода в кристаллическом кремнии, содержащем скрытый слой Si1−xGex, при его обработке в водородсодержащей плазме.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48741
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Величко .pdf228,69 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.