Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48741| Title: | Моделирование процессов переноса водорода в кри- сталлическом кремнии при его обработке в водород- содержащей плазме |
| Authors: | Величко, О. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Разработана модель диффузии водорода, учитывающая дрейф подвижной компоненты в поле внутренних упругих напряжений. Проведено моделирование имеющихся экспериментальных данных и определены характерные значения коэффициентов переноса атомов водорода в кристаллическом кремнии, содержащем скрытый слой Si1−xGex, при его обработке в водородсодержащей плазме. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48741 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Величко .pdf | 228,69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.