Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48741Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Величко, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-10T12:37:40Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-10T12:37:40Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48741 | - |
| dc.description.abstract | Разработана модель диффузии водорода, учитывающая дрейф подвижной компоненты в поле внутренних упругих напряжений. Проведено моделирование имеющихся экспериментальных данных и определены характерные значения коэффициентов переноса атомов водорода в кристаллическом кремнии, содержащем скрытый слой Si1−xGex, при его обработке в водородсодержащей плазме. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Моделирование процессов переноса водорода в кри- сталлическом кремнии при его обработке в водород- содержащей плазме | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Величко .pdf | 228,69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.