Моделирование формирования {311}-дефектов в ионно-облученном кремнии

Abstract

В работе алгоритм кинетического метода Монте-Карло применяется для моделирования роста кластеров и {311} дефектов из одиночных междоузлий, образующихся в ионно-облученном кремнии. Используются кинетические константы и параметры, опубликованные в литературе. Результаты сравниваются с расчетами на основе системы уравнений реакции-диффузии с теми же кинетическими константами. Результаты, полученные с помощью метода Монте-Карло, находятся в хорошем соответствии с результатами непрерывной модели. Преимуществами подхода, основанного на кинетическом методе Монте-Карло, является простота и возможность быстро выполнить оценочные расчеты с использованием малой модельной области.