Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48437
Title: Изучение характеристик компактного ионно-лучевого источника с анодным слоем
Authors: Роговский, Е. П.
Котов, Д. А.
Зеневич, Г. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Исследованы вольтамперные характеристики компактного ионно-лучевого источника с анодным слоем в диапазоне напряжений разряда 1500 – 5000 В и расходов рабочего газа 2 – 7 sccm, а также профили плотности тока ионного пучка. Установлена возможность формирования пучка ионов, плотность тока которого достигает 60 мА/см2.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48437
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Роговский.pdf286,52 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.