Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/38034
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
dc.contributor.author | Простомолотов, А. И. | - |
dc.date.accessioned | 2013-03-20T10:45:37Z | - |
dc.date.available | 2013-03-20T10:45:37Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. V Междунар. науч. конф., Минск, 10-11 окт. 2012 г. С.18-21 | ru |
dc.identifier.isbn | 978-985-553-079-5 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/38034 | - |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Издательский центр БГУ | ru |
dc.relation.ispartofseries | Вузовская наука, промышленность, международное сотрудничество; | - |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия | - |
dc.title | УПРОЧНЕНИЕ КРЕМНИЯ ВБЛИЗИ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА SIO2/SI | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2012. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Д.И. Бринкевич, Н.В. Вабищевич, С.А. Вабищевич, А.Н. Петлицкий, В.С. Просолович, А.И. Простомолотов.pdf | 223,26 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.