Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/340576
Заглавие документа: Разрушение нитрида алюминия при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности: объемный материал и тонкие пленки
Другое заглавие: Fracture of Aluminum Nitride under the Action of a High-Power Ion Beam of Nanosecond Duration: Bulk Material and Thin Films / Kovivchak V.S.
Авторы: Ковивчак, В. С.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2025
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 16-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 22-25 сент. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 262-264.
Аннотация: Проведено сравнительное исследование воздействия мощного ионного пучка наносекундной длительности на объемный (массивный) и тонкопленочный нитрид алюминия. Показано, что такое воздействие приводит к поверхностному растрескиванию нитрида алюминия и удалению части фрагментов разрушения. При плотности тока пучка 150 А/см2 на поверхности объемного нитрида алюминия наблюдается формирование оплавленных частиц. На тонкопленочном нитриде алюминия наряду с отслоением и удалением фрагментов пленки от подложки наблюдается структурирование поверхностного слоя, связанного с кристаллизацией расплава. Оценен элементный состав поверхностных слоев нитрида алюминия. Обсуждены возможные механизмы наблюдаемых эффектов
Аннотация (на другом языке): A comparative study of the effect of a high power ion beam of nanosecond duration on bulk and thin-film aluminum nitride has been conducted. It has been shown that such an effect leads to surface cracking of aluminum nitride and removal of some of the fracture fragments. At a beam current density of 150 A/cm2, the formation of molten particles is observed on the surface of bulk aluminum nitride. On thin-film aluminum nitride, along with peeling and removal of film fragments from the substrate, structuring of the surface layer is observed, associated with crystallization of the melt. The elemental composition of the surface layers of aluminum nitride has been estimated. Possible mechanisms of the observed effects have been discussed
Доп. сведения: Секция 3. Влияние излучений на структуру и свойства материалов = Section 3. Radiation Influence on the Structure and Properties of Materials
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/340576
ISSN: 2663-9939 (print)
2706-9060 (online)
Финансовая поддержка: Работа выполнена по государственному заданию Омского научного центра СО РАН (номер госрегистрации проекта 121121700062-3) с использованием оборудования Омского регионального центра коллективного пользования СО РАН.
Лицензия: info:eu-repo/semantics/openAccess
Располагается в коллекциях:2025. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
262-264.pdf137,64 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.