Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340518| Title: | Расчет массовых распределений кластеров, распыленных с поверхности меди пучком газовых кластерных ионов |
| Other Titles: | Calculation of the Mass Distributions of Clusters Sputtered from Copper by Gas Cluster Ion Beam / Anton Nazarov, Dmitrii Kireev, Alexander Rattsev, Vladimir Chernysh |
| Authors: | Назаров, А. В. Киреев, Д. С. Ратцев, А. Н. Черныш, В. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 16-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 22-25 сент. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 93-95. |
| Abstract: | Газовые кластеры представляют собой структуры, состоящие из некоторого числа атомов инертного газа (от единиц до десятков тысяч), связанных между собой Ван-дер-Ваальсовским взаимодействием. Механизмы взаимодействия ускоренных кластеров с твердым телом значительно отличаются от случая атомарных ионов, и на данный момент, остаются исследованы в недостаточной мере. В данной работе проведено исследование массовых распределений материала, распыленного с поверхности меди пучком кластерных ионов аргона размером в диапазоне от 50 до 1000 атомов и с энергией 10 и 20 кэВ. Расчет производился на основе компьютерного моделирования методом молекулярной динамики. Показан степенной характер массовых распределений. Проводится сравнение полученных распределений со случаем распыления атомарными ионами. Изучены зависимости параметров распределения от энергии и размера налетающего кластерного иона, показана корреляция показателя степенной функции, описывающей распределение, с полным коэффициентом распыления |
| Abstract (in another language): | Gas clusters are structures comprising from several to tens of thousands inert gas atoms bound by Van der Waals forces. The gas cluster ion beam (GCIB) irradiation has found several practical applications for surface modification and analysis. The mechanisms of GCIB interaction with solid surface differ significantly from the case of atomic ions. The studies these mechanisms play an important role for advancement in these applications. The material can be sputtered from the surface not only in the form of individual atoms, but also as dimers, trimers and larger clusters. Current report is devoted to the study on the mass distributions of the copper clusters sputtered from the copper surface by argon GCIB. The calculations have been carried out using molecular dynamics simulations of cluster impact on copper surface. The cluster size varied from 50 to 1000 atoms per cluster and the energy varied from 10 to 20 keV. It has been found that the mass distributions of sputtered material can be described by the power law. Such distribution shape is similar to the case of sputtering by atomic ions. The dependences of the distribution parameters on the energy and size of the incident gas cluster ion are studied, and the correlation of the exponent of the power function describing with the total sputtering coefficient is shown |
| Description: | Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of Radiation and Plasma Interaction with Solids |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340518 |
| ISSN: | 2663-9939 (print) 2706-9060 (online) |
| Sponsorship: | Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда №24-7900125. |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2025. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.