Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340487| Заглавие документа: | Измерение угла разориентации кристаллической плоскости оптических монокристаллов на θ-2θ дифрактометре |
| Другое заглавие: | Measuring the Angle of Misorientation of the Crystal Plane of Optical Single Crystals on the θ-2θ Diffractometer / Evdokimovs Antons, Sochivko Nikita |
| Авторы: | Евдокимовс, А. Сочивко, Н. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 16-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 22-25 сент. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 464-467. |
| Аннотация: | В статье представлен метод определения угла разориентации оптических монокристаллов с использованием дифрактометра GNR Explorer в геометрии θ-2θ сканирования. Исследование направлено на решение актуальной задачи контроля структурного совершенства кристаллов, применяемых в микроэлектронике и оптическом приборостроении. Методика основана на анализе углового положения дифракционных максимумов от различных кристаллографических плоскостей. Показано, что использование высокоточного дифрактометра GNR Explorer [1] позволяет определять углы разориентации с погрешностью не более 0,005° благодаря современному torque-гониометру. Особое внимание уделено вопросам подготовки образцов и оптимизации параметров измерений. Приведены результаты экспериментальных исследований монокристаллов DKDP и CaCO3, демонстрирующие эффективность предложенного подхода. Полученные данные имеют практическое значение для предприятий микроэлектронной промышленности, в частности для ОАО «Планар», где контроль угла разориентации критически важен для производства оптических элементов, которые в дальнейшем используются в литографах |
| Аннотация (на другом языке): | This article presents a method for determining the misorientation angle of optical single crystals using a GNR Explorer diffractometer operating in θ-2θ scanning geometry. The research addresses a pressing issue in the control of structural perfection in crystals used in microelectronics and optical instrumentation. The proposed methodology is based on the analysis of the angular positions of diffraction maxima from various crystallographic planes. It is demonstrated that the use of the high-precision GNR Explorer diffractometer enables the measurement of misorientation angles with an accuracy of no more than 0.005°, significantly surpassing the precision of conventional techniques. Special attention is given to sample preparation and the optimization of measurement parameters, which are critical for ensuring reliable and reproducible results. The experimental section provides detailed results of studies conducted on DKDP (deuterated potassium dihydrogen phosphate) and CaCO3 (calcium carbonate) single crystals. These findings clearly confirm the effectiveness of the proposed approach for accurate angular diagnostics. The obtained results are of practical importance for the microelectronics industry, particularly for enterprises such as JSC «Planar», where strict control of the crystal misorientation angle is essential for the fabrication of high-precision optical components. These components are subsequently used in lithographic equipment, where even minimal deviations in crystal orientation can adversely affect system performance. The proposed method offers a reliable, high-precision, and relatively accessible solution for quality control in the production of optical-grade single crystals. Its implementation can significantly enhance the accuracy of angular alignment in optical devices and contribute to the improvement of overall product quality in high-tech manufacturing processes |
| Доп. сведения: | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, Equipment, Plasma and Radiation Technologies |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340487 |
| ISSN: | 2663-9939 (print) 2706-9060 (online) |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2025. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 464-467.pdf | 130,58 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.