Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340484| Title: | Структурно-фазовый состав и электропроводность покрытий в системе Cu-N |
| Other Titles: | Structural Phase Composition and Electrical Resistance of Coatings in the Cu-N System / Shmanay Y., Mitskevich Y., Fedotova J., Zur I., Kharchanka А. |
| Authors: | Шманай, Е. Е. Мицкевич, Е. Д. Федотова, Ю. А. Зур, И. А. Харченко, А. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 16-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 22-25 сент. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 452-454. |
| Abstract: | Исследована взаимосвязь фазового и химического состава покрытий в системе Cu-N, а также их электросопротивление в зависимости от режимов осаждения (время напыления 4напыл и проток азота Г(N2)). Покрытия синтезированы методом импульсного магнетронного распыления на подложки монокристаллического кремния. Рентгеноструктурный анализ подтвердил формирование кубической фазы Cu3N с линейными размерами зерен от 15 до 19 нм; увеличение доли азота и времени напыления привело к увеличению постоянной решетки от 0.3808 до 0.3841 нм и микронапряжений от 0.0014 до 0.0022⋅10-4. Элементный анализ показал повышение содержания азота на 3.5% при его максимальном протоке, но снижение на 10% с увеличением времени напыления. Удельное электросопротивление покрытий, измеренное в продольной геометрии, увеличивается от 1⋅10-4 до 1⋅10-3 Ом⋅м при увеличении протока азота |
| Abstract (in another language): | The present study investigates the relationship between the phase and chemical composition of coatings in the CuN system, as well as their electrical resistance depending on the deposition modes (i.e. sputtering time and nitrogen flow rate). The synthesis of the coatings was accomplished through the utilisation of pulsed magnetron sputtering on single-crystal silicon substrates. X-ray structural analysis confirmed the formation of a cubic Cu3N phase, with grain sizes ranging from 15 to 19 nm. An increase in the nitrogen content and deposition time led to an increase in the lattice constant from 0.3808 to 0.3841 nm, and in microstresses from 0.0014 to 0.0022⋅10-4 Elemental analysis demonstrated a 3.5% increase in nitrogen content at maximum flow, but a 10% decrease with increasing deposition time. The electrical resistance of the coatings, measured in longitudinal geometry, increases from 1⋅10-4 to 1⋅10-3 Ohm⋅m with increasing nitrogen flow |
| Description: | Секция 4. Наноматериалы: формирование и свойства при воздействии излучений = Section 4. Nanomaterials: Formation and Properties under the Influence of Radiation |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340484 |
| ISSN: | 2663-9939 (print) 2706-9060 (online) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2025. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 452-454.pdf | 127,16 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.