Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340482| Title: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных сенсоров из оксидов титана, легированных алюминием, при распылении Ti и Al сдвоенными лазерными импульсами в атмосфере воздуха |
| Other Titles: | Study of Deposition Processes of Gas-Sensitive Nanofilm Sensors from Titanium Oxides Doped with Aluminum, during Spraying Ti and Al by Double Laser Pulses in Air Atmosphere / Ermalitskaya K.F., Krasnopiorov N.N., Voropay E.S., Zajogin А.Р. |
| Authors: | Ермалицкая, К. Ф. Красноперов, Н. Н. Воропай, Е. С. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 16-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 22-25 сент. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 63-65. |
| Abstract: | Изучены условия необходимые для напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов титана, легированных оксидом алюминия, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами в атмосфере воздуха гибридной мишени состоящей из пластинок титана (толщина 0,5 мм) и алюминия (толщина 0,23 мм) склеенных между собой методом лазерной искровой спектрометрии (спектрометр LSS-1). Проведены исследования влияния энергии, междуимпульсного интервала, угла падения и количества импульсов на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту |
| Abstract (in another language): | The conditions necessary for the deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from titanium oxides doped with aluminum oxide were studied by the method of ablation with double laser pulses in an air atmosphere of a hybrid target consisting of titanium plates (0.5 mm thick) and aluminum (0.23 mm thick) glued together by the method of laser spark spectrometry (LSS-1 spectrometer). The influence of energy, interpulse interval, angle of incidence and number of pulses on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed to the substrate were studied. The sensitivity parameters of the sensor to ammonia, water, and acetic acid were estimated |
| Description: | Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of Radiation and Plasma Interaction with Solids |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340482 |
| ISSN: | 2663-9939 (print) 2706-9060 (online) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2025. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.