Технологии микро- и наноэлектроники: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 07 Физика наноматериалов и нанотехнологий. № УД-14139/уч.

Abstract

Цель учебной дисциплины – ознакомление студентов с современными достижениями физики и технологии полупроводников и наноэлектроники. В результате освоения учебной дисциплины студент получит знания об основных принципах формирования и свойствах наноструктур (квантовые ямы, точки, нити, гетероструктуры, сверхрешётки); о методах получения и модификации наноструктур (эпитаксия, ионная имплантация, литография, зондовая нанолитография, молекулярно-лучевая эпитаксия); о физико-химических процессах на поверхности и в приповерхностных слоях, включая адсорбцию, десорбцию, самоорганизацию и капиллярные эффекты; о принципах работы наноэлектронных устройств (спинтронные, молекулярные, квантовые, биоинспирированные и гибкие элементы); о современные методах диагностики наноструктур (СТМ, АСМ, электронная микроскопия, спектроскопия); будет уметь анализировать технологические маршруты производства наноразмерных электронных компонентов; оценивать влияние технологических параметров (температура, давление, энергия ионов и др.) на свойства наноструктур; сравнивать и выбирать подходящие методы наноформирования и диагностики, в зависимости от задач проектирования; интерпретировать данные, полученные методами зондовой и электронной микроскопии; овладеет терминологией и понятийным аппаратом наноэлектроники при описании процессов, материалов и структур, используемых в субмикронных и нанотехнологиях; методами составления и анализа технологических маршрутов изготовления наноразмерных электронных компонентов с учётом стадий эпитаксии, литографии, легирования и других операций; методами идентификации и интерпретации физических механизмов деградации и отказов наноструктурных устройств на основе анализа технологических параметров и диагностических данных; методами выбора и обоснования применения наноматериалов (графен, молекулы, 2D-материалы, наночастицы) для решения задач в области сенсорики, памяти, логики и гибкой электроники; методами интеграции знаний из смежных областей (физика, химия, материаловедение, биология) для междисциплинарного анализа и проектирования наноэлектронных систем.