Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329571| Заглавие документа: | Исследование влияния угла абляции на процессы напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди, легированных железом при лазерном распылении меди и железа в атмосфере воздуха |
| Другое заглавие: | Study of the influence of ablation angle on the deposition processes of gas-sensitive nanofilm resistors from iron-doped copper oxides by laser sputtering of copper and iron in air / E. S. Voropay, N. M. Kovalenko, N. A. Alekseenko, A. P. Zazhogin |
| Авторы: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 238-242. |
| Аннотация: | Изучено влияние энергии и количества сдвоенных лазерных импульсов на целенаправленное формирование компонентного и зарядового состава лазерной плазмы методом лазерной искровой спектрометрии (спектрометр LSS-1). Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из CuO и Cu2O, легированных оксидами железа, с достаточно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами на гибридную мишень, состоящую из склеенных между собой пластинок меди М2 и стали Ст2 на подложку из стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напыляется на дорожку шириной 300 мкм, изготовленную в медной фольге на мишени из фольгированного стеклотекстолита. Проведены исследования влияния количества импульсов на процессы при целенаправленном формировании компонентного и зарядового состава лазерного факела, направляемого на подложку. Оценены временные параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду и уксусную кислоту |
| Аннотация (на другом языке): | The effect of energy and quantity of double laser pulses on targeted formation of component and charge composition of laser plasma by laser spark spectrometry (LSS-1 spectrometer) was studied. The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from CuO and Cu2O doped with iron oxides, with sufficiently good mechanical and sensitive characteristics, were studied by ablation with double laser pulses on a hybrid target consisting of M2 copper and St2 steel plates glued together on a fiberglass substrate in air. The resistor is deposited on a 300 μm wide track made in copper foil on a foil-clad fiberglass target. The effect of the number of pulses on the processes during targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed to the substrate was studied. The time parameters of the sensor sensitivity to ammonia and water were estimated |
| Доп. сведения: | Дефектно-примесная инженерия. Радиационные эффекты в полупроводниках |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329571 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 238-242.pdf | 433,33 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.