Модификация структуры анодных алюмооксидных покрытий оснований печатных плат для увеличения пробивных напряжений

Abstract

Для повышения электрической прочности описан метод заполнения пор путем повторного плотного анодирования алюминия через поры оксида. Если после формирования пористого оксида необходимой глубины сменить электролит и подать возрастающее напряжение, то по достижении напряжения формовки плотного оксида и его превышении начинает увеличиваться толщина барьерного слоя в пористом оксиде алюминия, а сама пора заполняется плотным оксидом. Общая толщина полученного таким образом плотного оксида ограничивается лишь напряжением искрения, а его электрическая прочность приближается к этому напряжению. При проведении экспериментов было установлено, что для одного и того же электролита напряжение искрения в 1,5–2 раза больше при заполнении пор, чем при непосредственном формировании плотного оксида. В результате получаем комбинированную морфологию пленки Al2O3 («пористый Al2O3» + «плотный Al2O3»), обладающей увеличенной толщиной барьерного слоя в донной зоне пористого оксида