Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/328230| Title: | Формирование тонких слоев LiCoO2/LiPON методами магнетронного и электронно-лучевого осаждения |
| Authors: | Капура, И. В. Корбан, А. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | 81-я научная конференция студентов и аспирантов Белорусского государственного университета : материалы конф., Минск, 15–25 мая 2024 г. В 3 ч. Ч. 1 / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: А. В. Блохин (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2024. – С. 437-440. |
| Abstract: | В работе представлены результаты исследования поверхностных структур и фазового состава тонких слоев LiCoO2 (LCO) и LiPON, полученных методами магнетронного и электронно-лучевого осаждения. Методом Резерфордовского обратного рассеяния (РОР) установлено, что концентрация кобальта в полученных слоях составляет 5% - 8%, при этом кобальт залегает неравномерно по глубине пленки. Рентгенограммы от пленки LiPON указывают на то, что она имеет аморфную структуру с тенденцией нанокристаллического структурирования |
| Description: | Факультет радиофизики и компьютерных технологий |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/328230 |
| ISBN: | 978-985-881-663-6 978-985-881-664-3 (ч. 1) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2024. Научная конференция студентов и аспирантов БГУ. В трех частях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 437-440.pdf | 619,88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.