Материалы микро- и наноэлектроники: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 6-05-0533-02 Прикладная физика. № УД-2017/б.

Abstract

В данной учебной дисциплине приводятся основные понятия, относящиеся к кристаллической физике, симметрии кристаллов и их росту. Отражены этапы в развитии электроники, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. Показано, что в качестве материалов изделий микроэлектроники используются легированные полупроводники, металлические и диэлектрические покрытия, в то же время как в наноэлектронике используются искусственно синтезированные среды, содержащие неоднородности с характерными размерами 4–10 нанометров различной природы и конфигурации внутри полупроводниковых и диэлектрических матриц. Таким образом, учебная дисциплина «Материалы микро- и наноэлектроники» дает представление о материалах, используемых в традиционной микроэлектронике и наноэлектронике, их электрофизических, оптических и магнитных свойствах, о возможных механизмах управления этими свойствами, о гармоничном сочетании материалов с полупроводниковыми, диэлектрическими и проводящими свойствами в электронике.