Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/326740| Заглавие документа: | Быстрое вакуумно-термическое формирование эпитаксиальных слоев 3C-SiC и барьерных структур на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / М. В. Лобанок ; Белорусский государственный университет. |
| Авторы: | Лобанок, Михаил Владимирович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Минск |
| Аннотация: | Целью являлось установление основных закономерностей быстрого вакуумно-термического выращивания эпитаксиальных слоёв 3С-SiC на кремнии, а также исследование структурно-фазовых состояний, оптических и электрофизических характеристик гетероструктур SiC/Si и барьерных структур Pt/SiC/Si. |
| Доп. сведения: | Исследования по теме диссертации выполнялись на кафедре физической электроники и нанотехнологий факультета радиофизики и компьютерных технологий Белорусского государственного университета в рамках плана НИР БГУ. Тема диссертационной работы соответствует приоритетным направлениям, утвержденным Указом Президента Республики Беларусь от 07 мая 2020 г. № 156 «О приоритетных направлениях научной, научно-технической и инновационной деятельности на 2021 – 2025 годы», в частности, пункту 4. Машиностроение, машиностроительные технологии, приборостроение и инновационные материалы (подпункты: «микро-, опто- и СВЧ-электроника, фотоника, микросенсорика»; «радиоэлектронные системы и технологии, приборостроение»; «наноматериалы и нанотехнологии, нанодиагностика»). |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/326740 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Авторефераты диссертаций, защищенных в 2025 г. (Д 02.01.16 — физико-математические науки) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 08-25 Автореферат_Лобанок МВ_для сайта.pdf | 5,8 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.