Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/324812| Title: | БАЛАНСОВЫЕ РАСЧЁТЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПРОИЗВОДСТВА БИПОЛЯРНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ЭТАПЕ ОСАЖДЕНИЯ ЛЕГКОПЛАВКИХ СТЁКОЛ: реферат дипломной работы/Миткевич В.С., БГУ, физический факультет, кафедра ядерной физики, руководитель Холмовская Е.Н. |
| Authors: | Миткевич, В.С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | Jan-2025 |
| Abstract: | Дипломная работа 48 страниц, 8 рисунков, 6 таблиц, 24 источника, 1 приложение. интегральная микросхема, борофосфоросиликатное стекло, тонкие плёнки, фосфоросиликатное стекло, боросиликатное стекло, химическое осаждение. Объект исследования – борофосфоросиликатное стекло. Предмет исследования – процесс осаждения борофосфоросиликатного стекла, производство ИМС. Цель работы – изучение свойств и возможностей применения БФСС при производстве биполярных ИМС и проведение балансовых расчётов технологических процессов производства биполярных ИМС на этапе осаждения легкоплавких стёкол. Методы исследования – анализ литературы, численные расчеты полуэмпирическими методами, описание полученных данных. В результате работы изучены свойства и возможности применения БФСС при производстве биполярных ИМС. Проведены балансовые расчёты технологических процессов производства биполярных ИМС на этапе осаждения легкоплавких стёкол. Составлена сводная таблица материальных потоков для процесса осаждения пленки БФСС на поверхности 100 пластин. Использование БФСС позволило исключить проблему коррозии металлических проводников ИМС, существенно увеличив при этом способность стекла к вязкому течению при относительно низких температурах термообработки стекол. |
| Abstract (in another language): | Graduate work 48 pages, 8 figures, 6 tables, 24 references, 1 appendix. integrated circuit, borophosphorosilicate glass, thin films, phosphorosilicate glass, borosilicate glass, chemical precipitation. The object of the study is borophosphorosilicate glass. The subject of the study is the process of precipitation of borophosphorosilicate glass, the production of IMS. The purpose of the work is to study the properties and possibilities of using BFSS in the production of bipolar ICS and to carry out balance calculations of technological processes for the production of bipolar ICS at the stage of deposition of low—melting glasses. Research methods include literature analysis, numerical calculations using semiempirical methods, and a description of the data obtained. As a result of the work, the properties and possibilities of using BFSS in the production of bipolar ICS have been studied. Balance calculations of technological processes for the production of bipolar ICS at the stage of deposition of low-melting glasses have been carried out. A summary table of material flows has been compiled for the deposition of the BFSS film on the surface of 100 plates. The use of BFSS made it possible to eliminate the problem of corrosion of IC metal conductors, while significantly increasing the ability of glass to viscous flow at relatively low temperatures of glass heat treatment. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/324812 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Физика (ядерные физика и технологии). 2025 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Реферат Миткевич.pdf | 172,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.