Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/323266| Заглавие документа: | Исследование процессов напыления нанопленок BaZr x Ti 1–x O 3 при лазерном распылении сдвоенными импульсами керамической мишени BaZr 0,2 Ti 0,8 O3 в атмосфере воздуха |
| Авторы: | Ермалицкая, К. Ф. Красноперов, Н. Н. Зажогин, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2024 |
| Библиографическое описание источника: | Материалы ХIV международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». Нальчик. Россия. 3-7 июня 2024 г. – С. 214-218 |
| Аннотация: | Изучены возможности получения нанопленочных сегнетоэлектриче- ских материалов методом абляции сдвоенными лазерными импульсами ми- шени, состоящей из керамики BaZr 0,2 Ti 0,8 O 3 на подложку из фольгирован- ного медью стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследо- вания влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на ми- шень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку и каче- ство пленки. |
| Аннотация (на другом языке): | The possibilities of producing nanofilm ferroelectric materials by ablation with dual laser pulses of a target consisting of BaZr 0.2 Ti 0.8 O3 ceramics onto a substrate of copper foil fiberglass in an air atmosphere have been studied. Stud- ies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of exposure of the radiation on the target on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/323266 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Pages from book2024_214-218.pdf | 792,5 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.