Исследование процессов напыления нанопленок BaZr x Ti 1–x O 3 при лазерном распылении сдвоенными импульсами керамической мишени BaZr 0,2 Ti 0,8 O3 в атмосфере воздуха

Ермалицкая, К. Ф.; Красноперов, Н. Н.; Зажогин, А. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/323266

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ермалицкая, К. Ф.	-
dc.contributor.author	Красноперов, Н. Н.	-
dc.contributor.author	Зажогин, А. П.	-
dc.date.accessioned	2024-12-19T08:46:32Z	-
dc.date.available	2024-12-19T08:46:32Z	-
dc.date.issued	2024	-
dc.identifier.citation	Материалы ХIV международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике». Нальчик. Россия. 3-7 июня 2024 г. – С. 214-218	ru
dc.identifier.uri	https://elib.bsu.by/handle/123456789/323266	-
dc.description.abstract	Изучены возможности получения нанопленочных сегнетоэлектриче- ских материалов методом абляции сдвоенными лазерными импульсами ми- шени, состоящей из керамики BaZr 0,2 Ti 0,8 O 3 на подложку из фольгирован- ного медью стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Проведены исследо- вания влияния количества импульсов и угла воздействия излучения на ми- шень на процессы при целенаправленном формирование компонентного и зарядового состава лазерного факела направляемого на подложку и каче- ство пленки.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/restrictedAccess	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Исследование процессов напыления нанопленок BaZr x Ti 1–x O 3 при лазерном распылении сдвоенными импульсами керамической мишени BaZr 0,2 Ti 0,8 O3 в атмосфере воздуха	ru
dc.type	conference paper	ru
dc.rights.license	CC BY 4.0	ru
dc.description.alternative	The possibilities of producing nanofilm ferroelectric materials by ablation with dual laser pulses of a target consisting of BaZr 0.2 Ti 0.8 O3 ceramics onto a substrate of copper foil fiberglass in an air atmosphere have been studied. Stud- ies have been carried out of the influence of the number of pulses and the angle of exposure of the radiation on the target on the processes during the targeted formation of the component and charge composition of the laser torch directed at the substrate and the quality of the film	ru
Appears in Collections:	Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Pages from book2024_214-218.pdf		792,5 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar