Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/319150
Заглавие документа: Выявление нарушений структуры окисла кремния при экспонировании его в газовой плазме
Авторы: Андреев, А. Д.
Дитковский, В. М.
Ткач, А. В.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 1980
Издатель: Минск : Издательство БГУ имени В. И. Ленина
Библиографическое описание источника: Вестник Белорусского государственного университета имени В. И. Ленина. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1980. – № 3. – С. 10-13.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/319150
ISSN: 0372-5375
Лицензия: info:eu-repo/semantics/openAccess
Располагается в коллекциях:1980, №3 (сентябрь)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
10-13.pdf256,41 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.