Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/319150
Заглавие документа: | Выявление нарушений структуры окисла кремния при экспонировании его в газовой плазме |
Авторы: | Андреев, А. Д. Дитковский, В. М. Ткач, А. В. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 1980 |
Издатель: | Минск : Издательство БГУ имени В. И. Ленина |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета имени В. И. Ленина. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1980. – № 3. – С. 10-13. |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/319150 |
ISSN: | 0372-5375 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 1980, №3 (сентябрь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.