Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305409
Title: | Электрофизические и оптические свойства тонкопленочных покрытий TiAlCuN |
Other Titles: | Electrophysical and optical properties of TiAlCuN thin film coatings / V. A. Zaikov, S. V. Konstantinov, F. F. Komarov, I. V. Chizhov, V. Y. Demidova, Y. V. Bolotina |
Authors: | Зайков, В. А. Константинов, С. В. Комаров, Ф. Ф. Чижов, И. В. Демидова, В. Я. Болотина, Ю. В. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 142-146. |
Abstract: | Методом сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) изучены структурные свойства и состав нитридных покрытий TiAlCuN. Четырёхзондовым методом проведены измерения поверхностного R и удельного ρ сопротивления. Методами спектрофотометрирования определен спектральный коэффициент отражения R в широком диапазоне длин волн λ = 200 ÷ 2500 нм. Зависимость спектрального коэффициента отражения демонстрирует металлический тип проводимости, который хорошо описывается теорией Друде - Лоренца. Совместное использование результатов оптических и электрофизических измерений позволило оценить концентрацию электронов n и их подвижность μ в покрытиях TiAlCuN |
Abstract (in another language): | The structural properties and composition of TiAlCuN nitride coatings have been studied by scanning electron microscopy (SEM). Surface R and resistivity ρ were carried out by the four-probe method.The spectral reflection coefficient R in a wide range of wavelengths λ = 200 ÷ 2500 nm was determined by spectrophotometric methods. The dependence of the spectral reflection coefficient demonstrates the metallic type of conductivity, which is well described by the Drude - Lorentz theory. The combined use of the results of optical and electrophysical measurements allowed us to estimate the electron concentration n and electron mobility μ in TiAlCuN coatings |
URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305409 |
ISBN: | 978-985-881-530-1 |
Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Appears in Collections: | 2023. Квантовая электроника |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
142-146.pdf | 1,74 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.