Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305409
Title: Электрофизические и оптические свойства тонкопленочных покрытий TiAlCuN
Other Titles: Electrophysical and optical properties of TiAlCuN thin film coatings / V. A. Zaikov, S. V. Konstantinov, F. F. Komarov, I. V. Chizhov, V. Y. Demidova, Y. V. Bolotina
Authors: Зайков, В. А.
Константинов, С. В.
Комаров, Ф. Ф.
Чижов, И. В.
Демидова, В. Я.
Болотина, Ю. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2023
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Квантовая электроника : материалы XIV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 21-23 нояб. 2023 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: М. М. Кугейко (гл. ред.), А. А. Афоненко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2023. – С. 142-146.
Abstract: Методом сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) изучены структурные свойства и состав нитридных покрытий TiAlCuN. Четырёхзондовым методом проведены измерения поверхностного R и удельного ρ сопротивления. Методами спектрофотометрирования определен спектральный коэффициент отражения R в широком диапазоне длин волн λ = 200 ÷ 2500 нм. Зависимость спектрального коэффициента отражения демонстрирует металлический тип проводимости, который хорошо описывается теорией Друде - Лоренца. Совместное использование результатов оптических и электрофизических измерений позволило оценить концентрацию электронов n и их подвижность μ в покрытиях TiAlCuN
Abstract (in another language): The structural properties and composition of TiAlCuN nitride coatings have been studied by scanning electron microscopy (SEM). Surface R and resistivity ρ were carried out by the four-probe method.The spectral reflection coefficient R in a wide range of wavelengths λ = 200 ÷ 2500 nm was determined by spectrophotometric methods. The dependence of the spectral reflection coefficient demonstrates the metallic type of conductivity, which is well described by the Drude - Lorentz theory. The combined use of the results of optical and electrophysical measurements allowed us to estimate the electron concentration n and electron mobility μ in TiAlCuN coatings
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305409
ISBN: 978-985-881-530-1
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:2023. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
142-146.pdf1,74 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.