Влияние мощного импульсного ионного пучка на топографию поверхности пирографита и кремния

Лигачев, А. Е.; Жидков, М. В.; Потемкин, Г. В.; Павлов, С. К.; Тарбоков, В. А.; Голосов, Е. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/304344

Title:	Влияние мощного импульсного ионного пучка на топографию поверхности пирографита и кремния
Other Titles:	Influence of a high power ion beam on the topography and structure of the pyrographite and silicon surface / A.E. Ligachev, M.V. Zhidkov, G.V. Potemkin, S.K. Pavlov, V.A. Tarbokov, E.V. Golosov
Authors:	Лигачев, А. Е. Жидков, М. В. Потемкин, Г. В. Павлов, С. К. Тарбоков, В. А. Голосов, Е. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2023
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 264-266.
Abstract:	С помощью оптической (конфокальной) микроскопии изучено влияние на поверхностный слой пирографита и кремния мощного импульсного ионного пучка (МИИП) состава 70% Сn+ + 30% Н+ (ускоряющем напряжении 200 ± 10 кВ, длительности импульса ~ 100 нс). В результате воздействия МИИП изменяется шероховатость поверхности пирографита без образования кратеров и формируются трещины. На поверхности кремния образуются кратеры в виде правильных шестигранников
Abstract (in another language):	Using optical (confocal) microscopy, the effect of a high-power pulsed ion beam (HPIB) of the composition 70% Cn+ + 30% H+ (accelerating voltage 200 ± 10 kV, pulse duration ~ 100 ns) on the surface layer of pyrographite and silicon was studied. As a result of the impact of MIIP, the roughness of the pyrographite surface changes without the formation of craters. Craters are formed on the silicon surface in the form of regular polygons
Description:	Секция 3. Влияние излучений на структуру и свойства материалов = Section 3. Radiation influence on the structure and properties of materials
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/304344
ISSN:	2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online)
Sponsorship:	Работа выполнена в рамках государственного задания FSWW-2023-001-1.
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2023. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
264-266.pdf		688,76 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar