Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/304321
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorKolesnikova, E. A.
dc.contributor.authorTeterukov, E. V.
dc.date.accessioned2023-11-03T13:27:53Z-
dc.date.available2023-11-03T13:27:53Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationВзаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 195-197.
dc.identifier.issn2663-9939 (Print)
dc.identifier.issn2706-9060 (Online)
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/304321-
dc.descriptionСекция 3. Влияние излучений на структуру и свойства материалов = Section 3. Radiation influence on the structure and properties of materials
dc.description.abstractIn this work, studies have been carried out on the effect of irradiation with krypton ions with an energy of 280 keV at a dose of 10 12 and 10 13 cm-2 on the morphology of heteroepitaxial films of indium antimonide on gallium arsenide GaAs substrates by atomic force microscopy. To quantify the damage and determine the implantation profile, modeling have been carried out in the SRIM program. The studies carried out have shown that, as a result of irradiation, the formation of cone-shaped structures is observed on the surface of InSb films. The change in the surface topography is related to the angular dependence of the sputtering yield and the predominant sputtering of antimony atoms from the surface of indium antimonide heteroepitaxial films on gallium arsenide substrates
dc.description.sponsorshipThe authors acknowledge financial support from the Belarusian Republican Foundation for Fundamental Research and Ministry of Education of the Republic of Belarus under the Grant № Т22MV-008.
dc.language.isoen
dc.publisherМинск : БГУ
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
dc.titleEffect of Krypton Irradiation on the Surface Morphology of Indium Antimonide Films on Gallium Arsenide Substrates
dc.typeconference paper
Располагается в коллекциях:2023. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
195-197.pdf360,07 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.