Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304304| Заглавие документа: | Модификация оптических характеристик пленок полиимида при последовательной имплантации ионов бора и азота |
| Другое заглавие: | Modification of optical characteristics of polyimide films in serial boron and nitrogen ion implantations / I.I. Azarko, Yu.A. Bumay, Lyu Dinchen, Yu.V. Sidorenko, M.G. Lukashevich, V.B. Odzaev |
| Авторы: | Азарко, И. И. Бумай, Ю. А. Динчэн, Лю Сидоренко, Ю. В. Лукашевич, М. Г. Оджаев, В. Б. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 36-38. |
| Аннотация: | В диапазоне длин волн 200-3000 нм исследованы оптические характеристики (пропускание и отражение) тонких (40 мкм) пленок полиимида, последовательно имплантированных ионами бора и азота с энергией 40 кэВ в интервале доз 1·10 16 – 1.5·10 17 см-2 при плотности тока в пучке 4 мкА/см2. Уменьшение пропускания имплантированными пленками обусловлено карбонизацией приповерхностного слоя и формированием в нем борсодержащих включений. Характерные для исходной пленки полосы отражения в ультрафиолетовой области при λ1 = 245 нм и λ2 = 305 нм, не наблюдаемые от имплантированной стороны, проявляются при максимальной дозе. Обнаружено, что в отражении имплантированной стороной не наблюдается полоса λ1, а полоса λ2 сдвигается в длинноволновую область на 25 нм, в то время как с не имплантированной стороны не наблюдается полоса λ2, а полоса λ1 сдвигается на 10 нм. При падении света на не имплантированную сторону полосы отражения наблюдаются при всех дозах |
| Аннотация (на другом языке): | Optical characteristics (transmission and reflection) of thin (40 μm) polyimide films sequentially implanted with boron and nitrogen ions with an energy of 40 keV were studied in the wavelength range of 200-3000 nm in the dose range of 1·10 16 - 1.5·10 17 cm-2 at a density current in the beam 4 µA/cm2 . The decrease in transmission by implanted films is due to the carbonization of the near-surface layer and the formation of boron-containing inclusions in it. Reflection bands in the ultraviolet region characteristic of the original film at λ1 = 245 nm and λ2 = 305 nm, are not observed from the implanted side, appear at the maximum dose. It was found that the λ1 band is not observed in the reflection by the implanted side, and the λ2 band is shifted to the long wavelength region by 25 nm, while the λ2 band is not observed from the non-implanted side, and the λ1 band is shifted by 10 nm. When light falls on the non-implanted side, reflection bands are observed at all doses |
| Доп. сведения: | Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of radiation and plasma interaction with solids |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304304 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.