Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304286
Title: | Возможность внедрения углеродных нанотрубок в структуру пленок поликристаллического алмаза, осаждаемых методом химического газофазного осаждения |
Other Titles: | The possibility of introducing carbon nanotubes in the structure of polycrystalline CVD diamond films / Alexander Mitulinsky, Stepan Linnik, Alexander Gaydaychuk |
Authors: | Митулинский, А. С. Линник, С. А. Гайдайчук, А. В. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 96-98. |
Abstract: | Данная работа посвящена экспериментальному исследованию внедрения углеродных нанотрубок в процесс CVD синтеза алмазных пленок. Углеродные нанотрубки предварительно осаждались на кремниевые подложки. Синтез алмаза проводился в рабочей газовой смеси H2/CH4, как с катализатором роста углеродных нанотрубок, так и без него. Показано, что в широком диапазоне исследованных концентраций метана (до 28.6 %) нанотрубки вытравливаются с поверхности подложки раньше, чем начинаются процессы роста алмаза. Утонение и разрыв являются основными механизмами травления нанотрубок в водородной среде |
Abstract (in another language): | This study is concerned on the experimental investigation of carbon nanotubes integration in CVD synthesis of diamond films. Carbon nanotubes were predeposited on silicon substrates. HFCVD process was held in an argon-free H2/CH4 working gas mixture, both with and without catalyst for carbon nanotubes growth, under the parameters of diamond synthesis. It is shown that in a wide range of studied methane concentrations (up to 28.6 vol.%) nanotubes etch from substrate surface before diamond growth processes occur. Thinning and cutting are two main mechanisms of carbon nanotube etching in hydrogen environment |
Description: | Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of radiation and plasma interaction with solids |
URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304286 |
ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
Sponsorship: | Исследование выполнено при финансовой поддержке Российского научного фонда, грант № 21-79-10004. |
Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Appears in Collections: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.