Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304270| Title: | Исследование параметров оксидных металлических покрытий, полученных ионно-плазменным методом |
| Other Titles: | Research of the parameters of oxide metal coatings produced by the ion-plasma method / A.M. Nazarov, A.I. Kamardin, Sh.U. Pulatov, A.Kh. Sharipov |
| Authors: | Назаров, А. М. Камардин, А. И. Пулатов, Ш. У. Шарипов, А. Х. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 536-538. |
| Abstract: | Разработана технология изготовления двухслойных металлических оксидных покрытий на подложках из стекла, ситалла и кремния с использованием ионно-плазменной обработки в вакууме. Использовался метод магнетронного распыления тугоплавких металлов в среде реактивного газа и электрохимической обработки. Проведены эллипсометрические измерения спектра отражения оксидного покрытия циркония для различных углов отражения на пластинах кремния и ситалла. Проведено электронно-микроскопическое исследование рельефа поверхности покрытий в зависимости от предварительной механической и химической обработки. Исследована также устойчивость полученных покрытий к химическому и механическому воздействию |
| Abstract (in another language): | A technology has been developed for the manufacture of two-layer metal oxide coatings on glass, glass-ceramic and silicon substrates using ion-plasma treatment in vacuum. For the formation of two-layer coatings on glass, ceramic glass and silicon, the method of magnetron sputtering of refractory metals with the addition of reactive gas at the final stage of coating deposition and the method of magnetron sputtering followed by electrochemical processing were used. In the first case, when forming two-layer coatings using reactive sputtering, the coating deposition process was implemented in the variant of applying an oxide coating on a pre-deposited coating of a selected material (for example, aluminum, brass, steels and alloys) or in the variant of metal sputtering followed by the deposition of an oxide of the same metal. In any case, for the deposition of metal oxide, it is necessary to ensure a reproducible supply of a mixture of atomizing and reactive gases (argon and oxygen) into the vacuum working chamber. For the second option, coatings of refractory metals up to 1 µm thick are used, after which electrochemical treatment is carried out, as a result of which the surface layer of the metal coating is oxidized. Ellipsometric measurements of the reflection spectrum of a zirconium oxide coating for various reflection angles on silicon and glass-ceramic wafers have been carried out. An electron microscopic study of the surface relief of the coatings was carried out depending on the preliminary mechanical and chemical treatment. The stability of the resulting coatings to chemical and mechanical impact was also studied |
| Description: | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304270 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 536-538.pdf | 471,2 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.