Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/304267| Title: | Реактор плазмохимического осаждения алмазоподобных углеродных покрытий |
| Other Titles: | Reactor for plasma-chemical deposition of diamond-like carbon coatings / N.V. Leonovich, A.I. Zanka |
| Authors: | Леонович, Н. В. Занько, А. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 15-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 26-29 сент. 2023 г. / Белорус, гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2023. – С. 527-529. |
| Abstract: | В данной работе представлены результаты разработки технологического комплекса по получению алмазоподобных углеродных покрытий с структурным составом ta-C:H методом химического осаждения из газовой фазы в индуктивно-связанной плазме. С целью достижения равномерного осаждения и однородности плотности плазменного разряда в процессе разработки были сделаны расчеты геометрических параметров газораспределителя и внешнего аксиального магнитного поля в программном комплексе Comsol Multiphysics. Также в данном программном комплексе был произведен расчет эффективности системы охлаждения разработанного подложкодержателя, для исключения его нагрева выше 150 °С. Для оценки равномерности осаждения алмазоподобных углеродных покрытий проведены экспериментальные исследования по получению данных покрытий с различным расходом рабочего вещества |
| Abstract (in another language): | This paper presents the results of the development of a technological complex for obtaining diamond-like carbon coatings with the structural composition ta-C:H by chemical vapor deposition in inductively coupled plasma. In order to achieve uniform deposition and homogeneity of the plasma discharge density during the development process, the geometric parameters of the gas distributor and the external axial magnetic field were calculated using the Comsol Multiphysics software package. The gas distribution system is of an annular type and is designed in such a way that the working substance is supplied to the plasma formation zone. The external axial magnetic field is formed by two electromagnets. Also, in this software package, the efficiency of the cooling system of the developed substrate holder was calculated in order to avoid it overheating more than 150 °С. Heat removal in the cooling system of the substrate holder is water. To assess the uniformity of the deposition of diamond-like carbon coatings, experimental studies were carried out to obtain these coatings with different flow rates of the working substance |
| Description: | Секция 5. Методы, оборудование, плазменные и радиационные технологии = Section 5. Methods, equipment, plasma and radiation technologies |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/304267 |
| ISSN: | 2663-9939 (Print) 2706-9060 (Online) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 527-529.pdf | 577,09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.