Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/302512| Title: | Методика неразрушающего анализа шероховатости рельефа наноструктурированных кристаллических поверхностей |
| Authors: | Волков, Ю. О. Нуждин, А. Д. Рощин, Б. С. Муслимов, А. Э. Толстихина, А. Л. Прохоров, И. А. Аргунова, Т. С. Лебедев, С. П. Лебедев, А. А. Асадчиков, В. Е. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Citation: | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы VII Междунар. науч.-практ. конференции, посвященной 120-летию со дня рождения академика Антона Никифоровича Севченко, 18–19 мая 2023 г., Минск / НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» БГУ ; [редкол.: Ю. И. Дудчик (гл. ред.), И. М. Цикман, И. Н. Кольчевская]. – Минск, 2023. – С. 279-280. |
| Abstract: | Обоснована применимость комплексной методики, включающей рентгеновскую рефлектометрию, незеркальное рентгеновское рассеяние и атомно-силовую микроскопию, для характеризации ориентированных террасно-ступенчатых структур на поверхности отожжённых пластин сапфира и карбида кремния. Показано, что данное сочетание методов позволяет получить совокупность статистических параметров, наиболее полно характеризующих регулярные свойства рельефа структурированной поверхности |
| Description: | Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/302512 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при частичной поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации (проект № 075-15-2021-1349). |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Number, date deposit: | №007528082023, Деп. в БГУ 28.08.2023 |
| Appears in Collections: | 2023. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 279-280.pdf | 328,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.