Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/298761| Title: | Электрофизические свойства тонких пленок оксида индия |
| Other Titles: | Electrophysical properties of thin films of indium oxide / V. S. Volobuev, V. K. Dolgiy, A. E. Pochtenny |
| Authors: | Волобуев, В. С. Долгий, В. К. Почтенный, А. Е. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Журнал Белорусского государственного университета. Физика = Journal of the Belarusian State University. Physics. – 2023. – № 2. – С. 66-73 |
| Abstract: | Исследованы электрофизические свойства тонких пленок оксида индия. Структура и химический состав пленок изучены методами электронной дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Температурная зависимость проводимости пленок измерена при постоянной концентрации кислорода методом циклической термодесорбции. Показано, что взаимодействие адсорбированных частиц с пленкой приводит к образованию различных адсорбционных состояний, влияющих на электрофизические свойства пленки. На основе результатов исследования предложен механизм проводимости. Рост проводимости, связанный с уменьшением концентрации адсорбированного кислорода, обусловлен тем, что адсорбированный кислород играет роль центров рассеяния носителей заряда, и снижение его концентрации приводит к увеличению подвижности носителей заряда. Полученные результаты могут быть использованы в микроэлектронных датчиках и сенсорах, поскольку они обладают более высоким быстродействием и значительно меньшим дрейфом показаний, чем резистивные сенсоры. |
| Abstract (in another language): | The electrophysical properties of thin films of indium oxide have been researched. The structure and chemical composition of the films were studied by electron diffraction, scanning electron microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. The temperature dependence of the conductivity of these films was measured at a constant oxygen concentration by cyclic thermal desorption. It is shown that the interaction of adsorbed particles with the film leads to the formation of various adsorption states that affect the electrophysical properties of the film. Based on the results of the study, a mechanism of conduction is proposed. The increase in conductivity associated with a decrease in the concentration of adsorbed oxygen is due to the fact that adsorbed oxygen is the centers of scattering of charge carriers, and a decrease in its concentration leads to an increase in the mobility of charge carriers. The results can be used in microelectronic sensors and sensors, since they have a higher response speed and significantly less reading drift compared to resistive sensors. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/298761 |
| ISSN: | 2520-2243 |
| DOI: | 10.33581/2520-2243-2023-2-66-73 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при поддержке Министерства образования Республики Беларусь (грант № 20211250). = The work was supported by the Ministry of Education of the Republic of Belarus (grant No. 20211250). |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2023, №2 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.