Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292879| Title: | Исследование процессов получения газочувствительных нанопленочных резисторов из CuO и CuO, легированных Zn при лазерном распылении меди и цинка в атмосфере воздуха |
| Other Titles: | Investigation of the processes of obtaining gas-sensitive thin-film resistors from CuO and CuO, doped with zinc during laser spraying of copper and zinc in an air atmospherem / M. N. Kovalenko, N. A. Alekseenko, E. S. Voropay, L. S. Rutkovskaya, A. P. Zazhogin |
| Authors: | Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Воропай, Е. С. Рутковская, Л. С. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 447-452. |
| Abstract: | Изучено влияние энергии и количества сдвоенных лазерных импульсов на целенаправленное формирование компонентного и зарядового состава лазерной плазмы методом лазерной искровой спектрометрии (спектрометр LSS-1). Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из CuO и CuO легированных ZnO, с достаточно хорошими механическими и чувствительными характеристиками, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами на гибридную мишень, состоящую из склеенных между собой пластинок из меди М2 и цинка Ц0 на подложку из стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напыляется на дорожку шириной 300 мкм, изготовленную в медной фольге на мишени из фольгированного стеклотекстолита. Проведены исследования влияния количества импульсов на процессы при целенаправленном формировании компонентного и зарядового составов лазерного факела направляемого на подложку. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту |
| Abstract (in another language): | The influence of the energy and number of twin laser pulses on the targeted formation of the component and charge composition of laser plasma by laser spark spectrometry (LSS-1 spectrometer) has been studied. The possibilities of obtaining gas-sensitive nanofilm resistors from CuO and CuO doped with ZnO, with sufficiently good mechanical and sensitive characteristics, by ablation with double laser pulses on a hybrid target consisting of plates of copper M2 and zinc Ц0 glued together on a fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is sprayed onto the track with a width of 300 microns made in copper foil on a target made of foiled fiberglass. The influence of the number of pulses on the processes during the purposeful formation of the component and charge composition of the laser torch directed to the substrate has been studied. The sensitivity parameters of the sensor to ammonia, water, and acetic acid were evaluated |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292879 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 447-452.pdf | 672,05 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.