Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292822| Title: | Чувствительность к влажности пленок оксидов олова: влияние кристаллической структуры и концентрации кислородных вакансий |
| Other Titles: | Sensitivity to humidity of tin oxide films: influence of crystalline structure and oxygen vacancy concentration / M. A. Samarina, V. K. Ksenevich, D. V. Adamchuk, V. A. Dorosinets |
| Authors: | Самарина, М. А. Ксеневич, В. К. Адамчук, Д. В. Доросинец, В. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 197-203. |
| Abstract: | Исследованы кинетики изменения электропроводности пленок оксидов олова различного структурного совершенства и с разной концентрацией кислородных вакансий в результате процессов адсорбции-десорбции водяных паров на их поверхности в диапазоне значений относительной влажности 0–85 %. Обнаружено, что на знак и величину изменения сопротивления пленок при изменении относительной влажности влияет как их кристаллическая структура, так и концентрация кислородных вакансий. Установлено, что наиболее быстрым временем отклика (~2 c) на изменение относительной влажности характеризуются пленки, в которых преобладает фаза SnO2-δ с наибольшей концентрацией кислородных вакансий (~2,3•10 20 cм−3) |
| Abstract (in another language): | The kinetics of changes in the electrical conductivity of tin oxide films of different structural perfection and with different concentrations of oxygen vacancies as a result of the processes of adsorption-desorption of water vapor on their surface in the range of relative humidity values of 0–85 % have been studied. It was found that the sign and magnitude of the change in the resistance of the films during variation of relative humidity are influenced by both their crystalline structure and the concentration of oxygen vacancies. It has been found that the fastest response time (~2 s) to a change in relative humidity is inherent for the films with prevailing SnO2-δ phase and with the highest concentration of oxygen vacancies ~2,3•10 20 cм−3) |
| Description: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292822 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 197-203.pdf | 766,22 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.