Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292771| Заглавие документа: | Диагностика тонкопленочных наноструктур системы Al-Fe/стекло методом сканирующей зондовой микроскопии |
| Другое заглавие: | Diagnostics of thin film nanostructures of Al-Fe/glass system by scanning probe microscopy / I. I. Tashlykova-Bushkevich, I. А. Stoliar |
| Авторы: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Столяр, И. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 534-540. |
| Аннотация: | Методами сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и покоящейся капли проведено комплексное исследование морфологии и свойств тонкопленочных наноструктур системы Al–Fe/стекло, полученных с использованием резонансного ионного источника вакуумной электродуговой плазмы с электродами, изготовленными из сплава Al‒1,5 ат. % Fe, в режимах пассивного и ионно-ассистируемого (U = 3 кВ) осаждения. Скорость нанесения покрытий составила 0,1–0,2 нм/мин. В рамках выполненного аналитического анализа СЗМ-изображений определены амплитудные и шаговые характеристики шероховатости образов, а также параметры-безразмерные комплексы (ψ и k), позволяющие выявить, как степень неоднородности поверхности коррелирует с процессом формирования пленок. Показано, что в зависимости от режима и времени осаждения модификация наноструктуры пленок сопровождается изменением поперечных и латеральных размеров элементов рельефа. Рассмотрено влияние структурной неоднородности субмикронной конусообразной морфологии поверхности на особенности метастабильного гетерогенного смачивания пленок водой |
| Аннотация (на другом языке): | Complex study of morphology and properties of thin film nanostructures of Al–Fe/glass system produced using a resonance ion source of vacuum arc plasma with electrodes made from Al–1.5 at. % Fe alloy in passive and ion-assisted (U = 3 kV) deposition modes was performed by scanning probe microscopy (SPM) and sessile drop method. Coating deposition rate was of 0.1–0.2 nm/min. Amplitude and spatial characteristics of roughness of specimens, as well as parameters-dimensionless complexes (ψ and k) have been determined within the framework of carried out analytical analysis of SPM-images and allow to reveal how the degree of heterogeneity of surface correlates with the process of film formation. Depending on the mode and time of deposition, it is shown that the modification of the nanostructure of films is accompanied by a change in the transverse and lateral dimensions of the relief elements. The influence of structural heterogeneity of sub-micron cone-shaped surface morphology on features of metastable heterogeneous wetting of films by water is considered |
| Доп. сведения: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292771 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Финансовая поддержка: | Работа выполнена при финансовой поддержке программы ГПНИ «Физическое материаловедение, новые материалы и технологии» (2016–2020 гг., подпрограмма «Материаловедение и технологии материалов», задание 1.40, № ГР 20161123) |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 534-540.pdf | 469,85 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.