Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/284213
Title: | Разработка физических основ и технологических принципов контролируемого реактивного магнетронного осаждения многослойных, твердых и износостойких, антифрикционных, термостойких, устойчивых к облучению структур на основе бинарных и тернарных нитридов металлов, упрочненных наноразмерными компонентами. Задание № 2.18.1 подпрограммы «Наноматериалы и нанотехнологии». ГПНИ «Функциональные и композиционные материалы, наноматериалы» : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Ф. Ф. Комаров |
Authors: | Комаров, Ф. Ф. Зайков, В. А. Климович, И. М. Константинов, С. В. Ивлев, Г. Д. Романов, И. А. Вишневский, А. И. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Металлургия ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Машиностроение ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | Минск : БГУ |
Abstract: | Объект исследования — реактивное магнетронное осаждение покрытий. Цель работы — разработка физических основ и технологических принципов контролируемого реактивного магнетронного осаждения многослойных, твердых и износостойких, антифрикционных, термостойких, устойчивых к облучению структур на основе бинарных и тернарных нитридов металлов, упрочненных наноразмерными компонентамии, и исследование их механических свойств. В результате исследованы процессы реактивного магнетронного осаждения многослойных структур на основе бинарных и тернарных нитридов металлов; отработаны методы управления процессами контролируемого реактивного магнетронного осаждения многослойных, твердых и износостойких антифрикционных, термостойких структур на основе слоев Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N; определены зависимости элементного состава пленок Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N от потенциала смещения и температуры нагрева подложки; выявлены особенности структуры и фазового состава покрытий Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N в зависимости от их элементного состава, потенциала смещения и температуры нагрева подложек; получены результаты по механическим и трибологическим свойствам Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N покрытий. Практическая значимость результатов настоящего исследования состоит в разработке физико-технологических основ для создания наноструктурных покрытий Ti-Al-N, Ti-Al-C-N и Ti-Zr-Si-N с улучшенными физико-механическими и трибологическими свойствами, что позволяет улучшить качество ряда изделий машиностроения. |
URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/284213 |
Registration number: | Рег. № НИР 20161839 |
Licence: | info:eu-repo/semantics/closedAccess |
Appears in Collections: | Отчеты 2020 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20161839 Комаров.pdf | 8,7 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.