Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28308| Заглавие документа: | ОРИЕНТАЦИОННЫЙ ЭФФЕКТ СИНТЕЗА СПЛОШНЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СКРЫТЫХ СЛОЕВ НИТРИДА И КАРБИДА КРЕМНИЯ ПРИ ВЫСОКОИНТЕНСИВНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ |
| Авторы: | Петров, С. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | В работе исследовалось влияние кристаллографической ориентации кремниевой мишени на кристаллическую структуру скрытых слоев β-Si3N4 и β-SiC, формируемых методом высокоинтенсивной ионной имплантации в самоотжиговом режиме. Установлен синтез их сплошных монокристаллических слоев в кремнии (001)-ориентации. Предложен механизм образования данных сплошных монокристаллических слоев. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28308 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Петров.pdf | 335,15 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.