Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28308Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Петров, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-01-08T12:21:55Z | - |
| dc.date.available | 2013-01-08T12:21:55Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28308 | - |
| dc.description.abstract | В работе исследовалось влияние кристаллографической ориентации кремниевой мишени на кристаллическую структуру скрытых слоев β-Si3N4 и β-SiC, формируемых методом высокоинтенсивной ионной имплантации в самоотжиговом режиме. Установлен синтез их сплошных монокристаллических слоев в кремнии (001)-ориентации. Предложен механизм образования данных сплошных монокристаллических слоев. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ОРИЕНТАЦИОННЫЙ ЭФФЕКТ СИНТЕЗА СПЛОШНЫХ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СКРЫТЫХ СЛОЕВ НИТРИДА И КАРБИДА КРЕМНИЯ ПРИ ВЫСОКОИНТЕНСИВНОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Петров.pdf | 335,15 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.