Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28226| Title: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В РАЗЛИЧНЫХ УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ |
| Authors: | Величко, О. И. Ковалева, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Результаты проведенного моделирования показывают, что при температурах отжига 800 оС и ниже перераспреде-ление ионно-имплантированного бора осуществляется посредством длиннопробежной миграции неравновесных межу-зельных атомов примеси независимо от используемого способа подавления скоротечной диффузии. Определены отно-сительные количества атомов примеси, которые находились в межузельном положении, и значения средних длин про-бега неравновесных межузельных атомов бора. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28226 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Величко-Ковалева.doc | 113 kB | Microsoft Word | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.