Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28226| Заглавие документа: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В РАЗЛИЧНЫХ УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ |
| Авторы: | Величко, О. И. Ковалева, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | Результаты проведенного моделирования показывают, что при температурах отжига 800 оС и ниже перераспреде-ление ионно-имплантированного бора осуществляется посредством длиннопробежной миграции неравновесных межу-зельных атомов примеси независимо от используемого способа подавления скоротечной диффузии. Определены отно-сительные количества атомов примеси, которые находились в межузельном положении, и значения средних длин про-бега неравновесных межузельных атомов бора. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28226 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Величко-Ковалева.doc | 113 kB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.