Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28095
Заглавие документа: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА СТАЦИОНАРНЫЕ И ПЕРЕМЕЩАЕМЫЕ ПОДЛОЖКИ |
Авторы: | Мельников, С. Н. Голосов, Д. А. Кундас, С. П. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2011 |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
Аннотация: | В статье представлена методика расчета профиля толщины тонкопленочных слоев при магнетронном их нанесе- нии для случаев стационарного расположения подложки над мишенью или линейного перемещения подложки (нанесе- ние покрытий на рулонные полимерные материалы). Разработанная 3D-модель основана на математическом описании интегрированного распыленного потока с каждой точки зоны распыления и позволяет рассчитывать скорость нанесения слоев в любой точке подложки для магнетронных распылительных систем (МРС) с осесимметричной или протяженной зоной распыления, профиль распределения толщины тонкопленочного покрытия и оптимизировать распылительную систему. Для верификации предложенной модели проведены экспериментальные исследования по нанесению тонкоп- леночных слоев методом магнетронного распыления мишени из стали 12Х18Н10Т на полиэтилентерефталатную плен- ку шириной 0.5 м при линейном перемещении пленки. Анализ результатов исследования показывают, что погрешность моделирования не превышает 5.0 %. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28095 |
Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Мельников.pdf | 392,69 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.